Nanometermotion producten
Hoogwaardige, nauwkeurige motion-producten door toepassing van nieuwe ideeën over nanoprecisie. Technologie die wordt toegepast in bedrijfstakken die zich op Nano-niveau richten op miniaturisering, bewerking, fabricage en inspectie van componenten
Nanometerprecisie met ALIO Industries
ALIO Industries ontwerpt en produceert hoogwaardige, nauwkeurige motion-producten door toepassing van nieuwe ideeën over nanoprecisie. In de afgelopen jaren is nanoprecisiemotion een standaard-technologie geworden voor nano- en micromachines. Deze technologie wordt toegepast in alle bedrijfstakken die zich op True Nano-niveau richten op miniaturisering, bewerking, fabricage en inspectie van componenten. Met name op het gebied van halfgeleiders, nanomachine-tools, fotovoltaïca, fotonica, meetmachines en glasvezelindustrie. De producten zelf worden in de Verenigde Staten geproduceerd.
Subcategorieën
Hybride Hexapod
Een Hybride Hexapod® combineert een monolithisch XY-podium, een statief en een continu roterende theta-Z-as.
Precisiesystemen voor rotaties
TRUE NANO® precisie roterende stages voor hoge precisie roterende bewegingen.
Lineaire motion systemen
De lineaire bewegingsproducten zijn ontworpen en vervaardigd om uniek te zijn in termen van prestaties en betrouwbaarheid.
Micron 2 motion systemen
De Micron 2 (µ2) motion systemen, daar waar de markt voor microniveau motion control vraagt naar goedkope, mid-precisie, betrouwbare, lange slag stages.
Z-lift en verticaal bewegende stages
De Z-Lift motion platforms zijn gemaakt om de onvermijdelijke onnauwkeurigheden van Z-wig verticale stages aan te pakken.
Luchtlager systemen
Toonaangevende 6-D Nano Positioning® luchtlagersystemen voor een groot aantal toepassingen in productie, inspectie/reparatie en metrologie.
Cartesische portalen
Een portaalrobot bestaat uit een manipulator die gemonteerd is op een bovenliggend systeem en beweging over een horizontaal vlak mogelijk maakt.
Oplossingen op maat
Kernoplossingen voor precisie motion control echt op maat.
Producten
Configureerbare portalen
De combinatie van het cartesische portaal met optionele vrijheidsgraden zoals z-as, roterende as, (omgekeerde) driepoten, hybride hexapods of gimbals maakt deze serie tot één van de meest veelzijdige en flexibele systemen.
Vlakke XY luchtlager stage
6-D Nano Positioning® beide assen die dezelfde uiterst precieze granieten basis als referentie gebruiken, met een vlakheid van slechts een enkele micron.
Luchtlager Z stage met tegengewicht
De reeks van lineair aangedreven, verticale Z-lift stages worden gekenmerkt door hun lage profiel en extreem grote slagbereik.
Nano Z® stage met dubbele “Voice Coil” en luchtlagers
NANO Z® gepatenteerde Z-lift luchtlagerstages overwinnen de oude ontwerpproblemen van z-wig en andere verticale stages.
Geosymmetrische “Voice Coil” Z stage
Unieke geometrische vormen bieden montagevlakken aan meerdere zijden van de stage voor flexibele installatieopties.
Z stage met lange slag en lineaire aandrijving
De reeks van lineair aangedreven, verticale Z-lift stages worden gekenmerkt door hun lage profiel en extreem grote slagbereik.
Krachtige Z stage met pneumatische rem
Verticale Z stage met precisie kogelschroeven aangedreven door een frameloze torque motor die uitgerust is met een pneumatische ontgrendelingsrem.
Standaard, dubbel kogelspoor Micron 2 X stage
Directe lineaire aandrijvingen met dubbele recirculatiekogelrails opent de wereld van de precisie voor veel meer toepassingen en klanten.
Slank, enkel kogelrail X stage
Overal waar lange slagbereiken tot 1 m nodig zijn, maar de ruimte belangrijk is, zijn deze lijnen waarschijnlijk de beste keuze.
Extra grote kogelrail X stage
Voor extreme toepassingen zijn drie product reeksen uitermate geschikt. Ze kunnen zware, grote voorwerpen, doelen en producten dragen en kunnen over extra grote afstanden worden gebruikt.
Krachtige kogelomloopspil aangedreven X stage
Deze stages, bekend als de series “SBS” en “XBS”, maken gebruik van een frameloze koppelmotor die de drager aandrijft met een precisiekogelomloopspil op dubbele recirculatie kogellagers.
Micron 2 roterende stage
Deze roterende stages, die ook openingen van behoorlijke afmetingen toelaten, worden gebruikt in een brede selectie van toepassingen en industrieën zoals industriële productie, fotonica of halfgeleidermetrologie.
Lineaire x-stage
Lineaire x-stages zijn waarschijnlijk de meest gebruikte stages in de precisie-industrie.
XY – stage
De XY stage wordt gebruikt in elk soort toepassing met hoge precisie.
Open midden XY – stage
De open-midden XY stage wordt gekenmerkt door een grote opening, voor alle toepassingen waarbij het gedragen product van alle kanten toegankelijk moet zijn.
Asymmetrische XY stage
Een asymmetrische, monolithische XY stage, kan de complexe combinatie van bewegingseisen helpen oplossen.
Precisie kogelschroef aangedreven X stage
De precisie kogelschroef aangedreven X stage zorgt ervoor dat precisie kan worden bereikt in aanwezigheid van elektrische ruis.
Micron 2 beweging systemen
Micron 2 (µ2) motion systemen voor de microniveau motion control markt, waar de vraag naar goedkope, mid-precisie, betrouwbare, lange slag stages aanwezig is.
Roterende stage met gekruiste rollagers
Deze stages kunnen toepassingen aan waar de massa, versnelling of gewoonweg doorvoer extreem zijn, terwijl de nanometer-precisie toch behouden blijft.
360 graden contactlager stage
Door het gebruik van torsiemotoren maken de stages een soepele continue beweging of een stappenproces over de volledige 360 graden mogelijk.
Roterende luchtlager stage
Luchtlagers laten de tafel bewegen zonder mechanisch contact en daardoor is de beweging wrijvingsloos en zonder slijtage.
Twee assige Gimbal
Twee-assige systemen zijn ontworpen rond de massa van de klant, met variabel contragewicht, kabelgeleiding en kabel- en luchtdoorvoermogelijkheden.
Open-center roterende stages
Een roterende stage met maximaal +/-7,5 graden hoekbeweging, een zeer laag profiel en een extreme opening voor maximale toegankelijkheid van beide kanten.
Standaard Hybride Hexapod
De Hybrid Hexapod® is ALIO’s nieuwe, gepatenteerde benadering van positionering met zes vrijheidsgraden (6-DOF), wat resulteert in een nauwkeurigheid op nanoniveau op elk werkpunt.
MINI Hybrid Hexapod
De MINI, momenteel de kleinste in de Hybrid Hexapod® lijn, is compact maar biedt toch een werkvolume van 54.000 mm2 (60x60x15mm).
Angulares TM Hexapod
Het kantelbereik van 60 graden van de AngularesTM Hybrid Hexapod® is verreweg het grootste hoekverplaatsingsbereik van alle 6-Degree-Of-Freedom (6 DOF) positioneringssystemen op de markt.
Hybride Hexapod specials
ALIO’s modulaire en veelzijdige Hybrid Hexapod® concept maakt verschillende aanpassingen en maatwerk mogelijk om te voldoen aan uw toepassingseisen.
Hoge hoek Tripod
Een Tripod maakt de combinatie mogelijk van z-beweging met kantelen en kantelen rond een gemeenschappelijk draaipunt.
Nanometerprecisie met ALIO Industries
ALIO Industries ontwerpt en produceert hoogwaardige, nauwkeurige motion-producten door toepassing van nieuwe ideeën over nanoprecisie. In de afgelopen jaren is nanoprecisiemotion een standaard-technologie geworden voor nano- en micromachines. Deze technologie wordt toegepast in alle bedrijfstakken die zich op True Nano-niveau richten op miniaturisering, bewerking, fabricage en inspectie van componenten. Met name op het gebied van halfgeleiders, nanomachine-tools, fotovoltaïca, fotonica, meetmachines en glasvezelindustrie. De producten zelf worden in de Verenigde Staten geproduceerd.
F.A.Q.:
Wat zijn nanometer-motion producten van ALIO?
- Nanometer-motion producten van ALIO zijn extreem nauwkeurige positioneersystemen voor lineaire, roterende en meerassige bewegingen. Ze worden toegepast wanneer standaard positioneertechniek niet meer voldoet, bijvoorbeeld bij metrologie, optica, halfgeleiderproductie, fotonica, micro-assemblage en high-end inspectiesystemen. ALIO positioneert zich specifiek op ultra-precieze motion control met nanometer-niveau positioneer- en herhaalnauwkeurigheid.
Welke producten vallen onder het ALIO nanometer-motion programma?
- Het programma bestaat onder andere uit lineaire stages, XY-stages, Z-lift/vertical motion stages, rotary stages, air bearing stages, vacuum-compatible stages en 6-assige nano-positioneersystemen zoals hexapod-oplossingen. Afhankelijk van de toepassing kunnen deze worden geleverd als losse as, gestapeld assysteem of geïntegreerde motion-oplossing.
Wanneer kies je voor een ALIO motion stage in plaats van een standaard lineaire geleiding?
- Een ALIO motion stage wordt interessant wanneer zaken als rechtheid, vlakheid, pitch, yaw, roll, run-out en herhaalnauwkeurigheid kritisch zijn voor het procesresultaat. Denk aan toepassingen waarbij een afwijking van enkele microns al te veel is, of waarbij een product, sensor, lens, wafer of meetkop exact en reproduceerbaar gepositioneerd moet worden. Bij dit soort eisen gaat het niet alleen om “van A naar B bewegen”, maar om gecontroleerde beweging met minimale geometrische afwijking.
Wat is het verschil tussen een crossed-roller stage en een air bearing stage?
- Een crossed-roller stage gebruikt mechanische precisiegeleidingen en is vaak compacter, robuuster en aantrekkelijker qua kosten. Een air bearing stage zweeft op een dunne luchtfilm, waardoor mechanisch contact, wrijving en slijtage vrijwel worden geëlimineerd. Air bearings zijn vooral geschikt voor toepassingen met extreem hoge eisen aan soepelheid, snelheid, run-out, vlakheid en herhaalbaarheid. ALIO past beide technologieën toe, afhankelijk van de nauwkeurigheid, belasting, slaglengte en omgevingscondities.
Zijn ALIO nanometer-motion systemen geschikt voor vacuüm of cleanroom?
- Ja, veel ALIO-oplossingen zijn beschikbaar voor kritische omgevingen zoals cleanrooms en vacuümtoepassingen. Dat maakt ze interessant voor onder andere semiconductor, optica, laserprocessing, synchrotron-toepassingen en andere hightech machinebouwprojecten waar contaminatie, uitgassing en thermische stabiliteit een rol spelen.
Wat betekent 6D nano-positioning bij ALIO?
- 6D nano-positioning betekent dat niet alleen de beweging in X, Y en Z wordt gecontroleerd, maar ook de rotatiefouten rond die assen: pitch, yaw en roll. Voor metrologie en high-end assemblage is dit cruciaal, omdat een ogenschijnlijk kleine hoekfout aan het product of meetpunt direct kan leiden tot meetfouten, uitlijnproblemen of procesafwijkingen. ALIO benoemt deze 6D-benadering expliciet bij zijn nano-positioning systemen.
Voor welke toepassingen worden ALIO nanometer-motion producten gebruikt?
- Typische toepassingen zijn wafer inspection, fotonica, fiber alignment, optische assemblage, medische en biomedische apparatuur, micro-machining, laserprocessing, additive manufacturing, metrologie, aerospace en precisieproductie. Vooral waar een machine of meetopstelling op submicron- of nanometerniveau reproduceerbaar moet bewegen, komt dit type motion control in beeld.
Waar moet je op letten bij het selecteren van een ALIO nanometer-motion systeem?
- Belangrijke selectiecriteria zijn slaglengte, belasting, oriëntatie, gewenste nauwkeurigheid, herhaalbaarheid, vlakheid, rechtheid, run-out, dynamiek, encoderkeuze, omgevingscondities, vacuümgeschiktheid en integratie met de motion controller. Ook de mechanische opbouw van de machine is bepalend: een nanometer-stage presteert alleen optimaal wanneer frame, montagevlak, thermische huishouding en kabelmanagement op hetzelfde precisieniveau zijn meegenomen. Dat is precies waar in de specificatiefase veel winst te behalen is.
