Open-center roterende stages

Een roterende stage met maximaal +/-7,5 graden hoekbeweging, een zeer laag profiel en een extreme opening voor maximale toegankelijkheid van beide kanten.

Product eigenschappen

Dit type draaitafel maakt gebruik van een tangentiële lineaire directe aandrijving met hoekcontactlagers (duplexpaar). Het resultaat is een familie van stages met maximaal +/-7,5 graden hoekbeweging, een zeer laag profiel en een extreme opening voor maximale toegankelijkheid van beide kanten. Aangezien zelfs wafers van 12 inch in de opening passen, is het niet verwonderlijk dat deze tafel steeds vaker wordt gebruikt voor toepassingen in de halfgeleiderindustrie, maar hij wordt ook veel gebruikt in de metrologie en zelfs voor toepassingen in de biowetenschappen.

Dankzij de stijve lagers en de zeer krachtige lineaire directe motor draagt deze tafel bij tot de hoge doorvoerbehoeften van de hoge precisiemarkt.

Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.