Vlakke XY luchtlager stage

6-D Nano Positioning® beide assen die dezelfde uiterst precieze granieten basis als referentie gebruiken, met een vlakheid van slechts een enkele micron.

Planar-XY-Air-Bearing-Stage

Product eigenschappen

ALIO’s gepatenteerd 2-assig vlakke XY luchtlagersysteem heeft de lat hoog gelegd in de wereld van 6-D Nano Positioning®. Aangezien beide assen dezelfde uiterst precieze granieten basis als referentie gebruiken, kan een geavanceerde vlakheid van slechts een enkele micron over meerdere honderden mm (of zelfs meters) bereik worden bereikt.

Dankzij het gepatenteerde ontwerp van ALIO en de gepatenteerde 6-D Nano Precision testmethoden, levert deze zeer stijve familie van vlakke xy-luchtlagersystemen sub-micron nauwkeurigheid, en een bi-directionele herhaalbaarheid van +/- 100 nm, zelfs in grotere hoeveelheden voor seriematige machineproductie. Met standaardversies van 200 mm tot 800 mm, en mogelijke aanpassingen tot meer dan 3 meter X- en Y-beweging, kent deze productfamilie geen gelijke voor True Nano®-precisie in alle soorten meet-/metrologietoepassingen en in de halfgeleiderindustrie.

Krachtige lineaire directe aandrijvingen en luchtlagers maken deze bewegingssystemen perfect geschikt voor toepassingen met hoge precisie en hoge verwerkingscapaciteit, waarbij soepel continu scannen of een snel stappenplan over zeer lange afstanden nodig is.

Voor meer informatie over de vlakke xy-luchtlagertrappen en de vele beschikbare aanpassingsopties, kunt u contact opnemen met ALIO.

Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.