Luchtlager systemen
Toonaangevende 6-D Nano Positioning® luchtlagersystemen voor een groot aantal toepassingen in productie, inspectie/reparatie en metrologie.
ALIO Industries heeft toonaangevende 6-D Nano Positioning® luchtlagersystemen ontwikkeld voor een groot aantal toepassingen in productie, inspectie/reparatie en metrologie. Met verschillende gepatenteerde ontwerpen voor Planar en Nano Z® is ALIO goed gepositioneerd voor de volgende generatie toepassingseisen van TRUE NANO® precisie in fotovoltaïsche, halfgeleider, inkt jet depositie, lithografie en optische inspectie toepassingen.
Producten
Vlakke XY luchtlager stage
6-D Nano Positioning® beide assen die dezelfde uiterst precieze granieten basis als referentie gebruiken, met een vlakheid van slechts een enkele micron.
Luchtlager Z stage met tegengewicht
De reeks van lineair aangedreven, verticale Z-lift stages worden gekenmerkt door hun lage profiel en extreem grote slagbereik.
Nano Z® stage met dubbele “Voice Coil” en luchtlagers
NANO Z® gepatenteerde Z-lift luchtlagerstages overwinnen de oude ontwerpproblemen van z-wig en andere verticale stages.
Roterende luchtlager stage
Luchtlagers laten de tafel bewegen zonder mechanisch contact en daardoor is de beweging wrijvingsloos en zonder slijtage.
