Nano Z® stage met dubbele “Voice Coil” en luchtlagers
NANO Z® gepatenteerde Z-lift luchtlagerstages overwinnen de oude ontwerpproblemen van z-wig en andere verticale stages.
Product eigenschappen
NANO Z® gepatenteerde Z-lift luchtlagerstages overwinnen de oude ontwerpproblemen van z-wig en andere verticale stages. Ze gebruiken een nieuwe combinatie van luchtlagers en twee “Voice Coil” motoren in een compact formaat met een slag van maximaal 50 mm.
Het gebruik van luchtlagers betekent verwaarloosbare wrijving, waardoor een ongeëvenaarde nauwkeurigheid en herhaalbaarheid tot in de lage dubbele cijfers van de nanometer mogelijk is. De variabele tegenwicht kan gemakkelijk zware gewichten aan, zoals waferkoppen, terwijl toch een nanoprecisie over het hele slagbereik wordt bereikt.
Het Nano Z® ontwerp plaatst de verticale kracht in lijn met de last, en dit maakt het mogelijk om de stage direct onder de last te plaatsen in plaats van ernaast, waardoor onvermijdelijke cantilever onnauwkeurigheden worden vermeden en verdraaiing, helling en kanteling bijna worden geëlimineerd.
Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.
