Open midden XY – stage

De open-midden XY stage wordt gekenmerkt door een grote opening, waardoor ze gebruikt kunnen worden voor alle toepassingen waarbij het gedragen product van alle kanten toegankelijk moet zijn.

Open-center-monolithische-XY-stage

Product eigenschappen

ALIO’s open-midden XY stages worden gekenmerkt door grote openingen, waardoor ze gebruikt kunnen worden voor alle toepassingen waarbij het gedragen product van alle kanten toegankelijk moet zijn.

Ze maken gebruik van hoogwaardige lineaire servomotoren en precisie kruisrollagers, ingebouwd in een compact geheel. Met nanometer rechtheid en vlakheid – en een geoptimaliseerde haaksheid – kunt u er zeker van zijn dat uw nauwkeurigheid in 6 richtingen True Nano® is.

Hoewel compact, zijn standaard slag-bereiken van 30 mm tot 400 mm beschikbaar. Indien gewenst kunnen ook stages worden gebouwd voor toepassingen met hoog vacuüm of in cleanrooms.

Met een bi-directionele herhaalbaarheid van slechts +/- 30 nm en in scantoepassingen die een soepele, continue beweging vereisen of in processen waar hoge dynamica vereist is – zelfs wanneer de capaciteit van zeer groot belang is.

De XY-stages zijn onderverdeeld in de standaard LM-serie, de low-profile CM-serie en in deze versie met een open midden voor specifieke toepassingen.

Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.