XY – stage
Deze stage wordt gebruikt in elk soort toepassing met hoge precisie.
Product eigenschappen
ALIO’s XY-stages worden gebruikt in elk soort toepassing met hoge precisie. Ze maken gebruik van hoogwaardige lineaire servomotoren en precisie kruisrollagers, ingebouwd in een compact geheel. Met nanometer rechtheid en vlakheid – en een geoptimaliseerde haaksheid – kunt u er zeker van zijn dat uw nauwkeurigheid in 6 richtingen True Nano® is.
Hoewel compact, zijn standaard slag-bereiken van 30 mm tot 400 mm beschikbaar. Indien gewenst kunnen ook stages worden gebouwd voor toepassingen met hoog vacuüm of in cleanrooms.
Met een bi-directionele herhaalbaarheid van slechts +/- 30 nm en in scantoepassingen die een soepele, continue beweging vereisen of in processen waar hoge dynamica vereist is – zelfs wanneer de capaciteit van zeer groot belang is.
De XY-stages zijn onderverdeeld in de standaard LM-serie, de low-profile CM-serie en in een versie met een open midden voor specifieke toepassingen.
Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.
