Precisie kogelschroef aangedreven X stage
De precisie kogelschroef aangedreven X stage zorgt ervoor dat precisie kan worden bereikt in aanwezigheid van elektrische ruis.
Product eigenschappen
In sommige gevallen moeten toepassingen ervoor zorgen dat precisie kan worden bereikt in aanwezigheid van elektrische ruis. Voor dergelijke toepassingen biedt ALIO stages aan die aangedreven worden door een koppelmotor die een precisiekogelomloopspil met een anti-terugslagmoer beweegt, en indien nodig uitgerust met pneumatische of elektrische magneetremmen.
Dankzij ALIO’s unieke ontwerp- en fabricageprincipes bereiken dergelijke sledes nog steeds een bi-directionele herhaalbaarheid van slechts +/- 100nm en een rechtheid en vlakheid van minder dan 5µm (en op aanvraag zelfs 1µm).
Kant-en-klare versies maken verplaatsingen van 30 mm, 100 mm, 150 mm en 200 mm mogelijk, en kunnen worden gerealiseerd voor omgevings-, hoogvacuüm- en cleanroomcondities.
Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.
