Open-center monolithische XY stage
De open-center, monolithische XY stage wordt gekenmerkt door een grote opening, waardoor ze gebruikt kunnen worden voor alle toepassingen waarbij het gedragen product van alle kanten toegankelijk moet zijn.
Product eigenschappen
ALIO’s open-center, monolithische XY stages worden gekenmerkt door grote openingen, waardoor ze gebruikt kunnen worden voor alle toepassingen waarbij het gedragen product van alle kanten toegankelijk moet zijn.
Met behulp van krachtige directe lineaire aandrijvingen en zeer nauwkeurige gekruiste rollagers die zorgvuldig zijn ontworpen in een 3-plaats systeem, zijn we in staat een uitstekende precisie te bereiken in onze open-center XY stages. Naast een bi-directionele herhaalbaarheid van slechts +/- 50 nm, bieden de stages een superieure rechtheid en vlakheid, evenals een geoptimaliseerde orthogonaliteit die u Nano Precision® geeft bij verplaatsingsbereiken van 30mm tot 400mm.
Scantoepassingen die een soepele, continue beweging en snelle stap- en vestigingsprocessen vereisen, kunnen even goed worden uitgevoerd om klanten te helpen een ideale beweging en een hogere verwerkingscapaciteit te bereiken.
Indien de toepassing dit vereist, kunnen de sledes ook worden gebouwd voor toepassingen met hoog vacuüm of cleanrooms.
De open-center monolithische XY-stages zijn onderverdeeld in de standaard LM-serie en de compactere CM-serie.
Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.
