Gesloten monolithische XY stage

De gesloten, monolithische XY stage wordt gebruikt in elk soort toepassing met hoge precisie.

Gesloten-monolithische-XY-stage

Product eigenschappen

ALIO’s gesloten, monolithische XY-tafels worden gebruikt in elk soort toepassing met hoge precisie. Ze maken gebruik van directe lineaire aandrijvingen en zeer nauwkeurige gekruiste rollagers, ingebouwd in een compact 3-plaats systeem. Met nanometer rechtheid en vlakheid – en een geoptimaliseerde orthogonaliteit – kunt u er zeker van zijn dat uw puntprecisie True Nano® is.

Hoewel ze compact zijn, zijn standaard verplaatsingsbereiken van 30 mm tot 400 mm beschikbaar. Indien gewenst kunnen ook stages worden gebouwd voor toepassingen met hoog vacuüm of cleanrooms.

Het ontwerp bereikt de hoogste precisie met bi-directionele herhaalbaarheid van slechts +/- 30 nm en is even sterk in scantoepassingen die een soepele, continue beweging vereisen of wanneer een snel stap- en vestigingsproces vereist is – zelfs wanneer de hoogste output het belangrijkst is.

De gesloten, monolithische XY stages zijn onderverdeeld in de standaard LM-serie en de low-profile CM-serie.

Een uitgebreid overzicht van wat kan worden bereikt met de standaard configuraties is in de documentatie terug te vinden.